真空発生器、バキュームジェネレーターをリリース

 

真空を利用してガスラインを効率的にパージします

 

 

用途：
真空発生器は、真空をつくることによってガス・ラインから残留ガスを抜くように設計されたデバイスです。0.48Mpaの最小限の窒素圧力で、FITOK真空発生器は60Tollの真空を生み出すことができます。そして、パージ効率が大幅に改善されます。

 

◎全溶接設計
◎ 内面粗さRa20μin (0.51μm)
◎ 100%ヘリウムリークテスト済み

 

 

到達真空度	60 Torr (-93.3 kPa)
駆動用ガス供給圧力	0.48Mpa
駆動ガス流量	67 l/min
駆動用最高使用圧力(N2)	1.0Mpa
使用温度範囲	0~150℃

 

使用方法：
真空発生器の入口にガスを供給します。ノズルのくびれ部によりガスの流れが加速します。ノズルを出た後、加速されたガスは膨張し、ディフューザー(拡散部)を通って出口ポートに流れ込みます。このプロセスでは、ディスフュージョンチャンバーが真空状態になり、ガスラインから真空ポートを通して残留ガスが吸引されます。

 

 

詳しくは製品カタログをご覧ください。ご不明な点がございましたら、弊社までお問い合わせください。